사례 연구들: EV Group Inc.

"우리는 이전에 단지 몇 번의 측정을 얻을 수 있었던 동일한 양의 시간에 이제는 수백 번의 측정을 수행 할 수 있습니다."

- EV Group Inc.,북아메리카, 기술이사 Garrett Oakes.

자동화된 측정은 실리콘 테스트랩에 생산성과 정보의 가치를 향상 시킵니다.

EV Group 은 실리콘 웨이퍼 본딩(bonding), 리쏘그래피(lithography) / 나노인프린트 리쏘그래피 (nanoinprint lithography), 계측 장비 뿐만 아니라 포토리지스트 코터(photoresist coaters), 클리너(cleaners), 검사 시스템 제품 등을 제공 합니다. 아리조나 템프(Arizona Tempe)에서 데모(demo) 및 응용 실험실을 운영 하고 있는 이 회사의 엔지니어들은 EVG의 고객들에 의해 개발된 다양한 웨이퍼 종류 및 크기에 대한 필름 두께를 측정하는 공정 관리 프로젝트들을 수행 하고 있습니다.

필름 두께를 측정하는 새로운 방법 찾기.

이전에 EVG 엔지니어들은 필름 두께를 측정 하기 위해서는 광학적 프로필로메터(profilometer)와 웨이퍼에 선택된 영역에서 필름을 제거하는 “스크래치(Scratch) 테스트” 측정 방법들을 사용 했습니다. 이러한 방법들은 시간 소비가 많고, 제한된 데이터를 얻으며 반복이 가능한 테스트 지원을 할 수 없었습니다.

또한 엔지니어들은 다양한 고객 애플리케이션을 위한 고분자 필름 두께를 측정 할 수 있는 테스트 시스템을 필요로 하였습니다. 이러한 요건들로 인하며 EVG는 Filmetrics F50-EXR 필름 두께 매핑(mapping) 시스템을 사용하게 되었습니다.

Filmetrics F50-EXR은 더 두껍고, 거칠고, 불투명한 필름들의 측정에 필요한 장파장 대역을 지원 합니다. 이 시스템은 금속 시드층(seed layers)과 네이티브(native)상태에 있는 실리콘 웨이퍼를 포함하며, 다양한 웨이퍼 크기(최대300mm) 및 재료들을 측정하고, 아주 섬세한 작업에서만 가능한 특수한 재료로 가공된 웨이퍼들의 측정에도 EVG의 요건들을 충족시킵니다. " Filmetrics 시스템의 가치는 모든 영역의 웨이퍼 크기와 고분자 두께를 다룰 수 있고, 매우 우수하게 조작 할 수 있다” 라고 EV Group 북아메리카의 기술이사인 Garrett Oakes는 언급 했습니다.

다양한 애플리케이션을 위한 빠르고 정확한 측정

Filmetrics F50-EXR의 사용은 EVG에 여러 가지 혜택을 제공 합니다.

시간절약. "저는 실험실에서 아무도 사용 하기를 원하지 않는 복잡한 기기를 갖고 싶지 않습니다 ". " Filmetrics시스템은 매우 이해하기 쉽고 엔지니어가 테스트 환경을 설정하는데 매우 적은 시간이 걸립니다." 왜냐하면 Filmetrics 테스트는 자동화되어 EVG 엔지니어들이 테스트 작업 동안에도 다른 작업을 수행 할 수 있어 그들의 생산성에 도움을 주기 때문 입니다.

F50-EXR 시스템에 원격 접속을 해서 테스트 결과를 조회하는 기능은 또한 엔지니어들의 시간을 절약 해 줍니다. "우리는 이전에 단지 몇 번의 측정을 얻을 수 있었던 동일한 양의 시간에 이제는 수백 번의 측정을 수행 할 수 있습니다,".

반복성 테스트반복성은 수행된 테스트 측정에 대한 고객의 신뢰를 높여 줍니다. " Filmetrics 기기의 자동화된 테스트는 엔지니어들이 쉽게 동일한 웨이퍼에서 다양한 측정들을 수행 할 수 있도록 합니다,". "자동화는 또한 엔지니어가 한 시료 세트(sample sets) 에서 다양한 웨이퍼들의 측정을 수행하고 있을 때 테스트 일관성을 지원 합니다."

적응성다양한 웨이퍼 크기와 종류에 대한 시스템 지원은 EVG에게 폭넓고 다양한 고객 테스트 프로젝트를 수용 할 수 있도록 합니다.

포괄적인 데이터웨이퍼에 더 많은 포인트를 측정해서 시각적으로 표현되는 상세한 테스트 결과에 의하여 EVG 엔지니어들이 제품 디자인이나 또는 제조 공정상에 있는 문제들을 고객들이 식별할 수 있도록 도울 수 있습니다.

Oakes 와 엔지니어들은 또한Filmetrics에서 제공되는 애플리케이션 지원으로부터 특이한 디자인이나 측정 테스트들에 도전하는 혜택이 있습니다."Filmetrics 엔지니어는 귀하의 요건에 맞는 최고의 측정 선택을 할 수 있도록 도와 줄 것 입니다." 라는 내용으로 Oakes 기술이사는 언급 하였습니다.

EVG에서 Filmetrics F50-EXR의 자동화된 필름 측정은 실험실의 운영에 향상을 가져왔을 뿐만 아니라 회사의 서비스로 고객 만족을 증대 시켰습니다.