두께 측정 제품
자사의 박막 두께 측정장비는 모든 응용분야에 적용 될 수 있습니다. 아래의 대부분의 장비들은 신속한 납기를 위해 재고로 보유하고 있습니다. 박막 두께관련 문의사항에 대하여 자사 응용전문가에게 연락을 주시면 즉시 회신을 드릴 것 입니다.단일-스팟 두께 측정
단 한번의 마우스 클릭으로, 박막 두께 및 굴절률을 측정하는 탁상형 시스템. 다층 박막에도 - 1nm에서 3mm까지 두께 측정 하세요.
대부분의 제품들은 재고로 구비되어 즉시 납품이 가능 합니다.
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F20
전 세계 가장 많이 판매되며 광범위한 부품과 두께측정이 가능합니다.
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F3-sX
F3-sX 시리즈는 반도체와 유전체 박막을 3mm 두께까지 측정.
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F10-ARc
렌즈 및 다른 휨 (curved)표면의 반사율 측정 하기. 하드코팅(hardcoat) 두께 측정에 대한 옵션이 가능 합니다.
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F10-RT
측정 반사율과 투과율을 동시에 측정하며 두께와 광학상수 측정을 위한 옵션이 있습니다.
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F10-HC
하드코팅 및 안티-포그(anti-fog)층 두께 및 광학상수. 폴리카보네이트 (Polycarbonate)에 하드코팅을 하는 자동차 산업과 기타 산업에 많이 사용됩니다.
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F3-CS
작은 입증용 샘플 또는 쿠폰 샘플들의 측정을 제공합니다.
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F10-AR
광학 렌즈 및 기타 곡선 표면의 반사율 측정. 하드코팅 두께와 투과율을 측정하기 위한 옵션이 있습니다.
마이크로스코픽-스팟 두께 측정
2.5µm 만큼의 small-spot 측정 시 필요하며 - 귀하의 기존 현미경을 이용 하거나, 자사가 완성된 장비를 제공드립니다.
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F40
현미경에 부착하여 최소1µm의 크기의 파장영역에서 두께와 광학상수를 측정가능 합니다.
자동 매핑 시스템
어느 샘플 형상과도 매우 근접한 두께 및 굴절률의 완벽한 자동 매핑시스템. 수동-로딩과, 로봇식-로딩 시스템이 가능 합니다.
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F50
F20 시리즈 제품에 자동 매핑 기능을 추가하여, 1초에 두 지점을 측정 할 만큼 빠르게 두께 및 굴절률을 매핑 할 수 있습니다.
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F54
샘플직경 450mm까지 초당 2포인트만큼 빠른 박막두께매핑.
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F54-XY
초당 2포인트의 빠른 속도로 최대 200mm x 200mm 또는 300mm 원형 웨이퍼의 박막 두께를 매핑합니다.
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F60-t
양산용 탁상형 매핑 시스템에는 장착된 레퍼런스, 노치(notch) 찾기의 기능과, 인터락이 갖추어진 덮개 등이 있습니다.
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F60-c
F60-t는 카세트-대-카세트(Cassette-to-cassette) 버전입니다.
인라인 두께 모니터링
제품 생산 시 이동되는 필름의 두께를 모니터링 및 제어 하세요. 100Hz 만큼 빠른 샘플 이동 속도에서 다중 측정 위치도 가능 합니다.
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F30
MOCVD, 스퍼터링 또는 기타 증착 공정 중에 반사율, 두께 및 증착 속도를 모니터 합니다.
부품들
Filmetrics는 귀하의 필름 두께측정 요구에 맞게 다양한 부품을 제공합니다.
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교체 램프
광원에 따라 교체 램프가 준비 되어있습니다.
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두께의 표준
전체 Filmetrics는 두께 표준 인증을(NIST-traceable) 받은 제품입니다.
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레퍼런스 재료
교체BK7 및 실리콘 레퍼런스.
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Step-Height 표준
CrOnSi Step-Height 표준교체.
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일반 부품
운송 케이스 등 일반 액세서리.
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스테이지 &스테이지 부품
표준형 및 주문형 스테이지
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접촉 프로브
곡선과 복잡한 표면 측정
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광화이버
자외선(UV), 가시광선(VIS) 그리고 근적외선(NIR)대체 광화이버.
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렌즈 어셈블리
다양한 렌즈 조립이 귀하의 응용에 맞게 마련되어 있습니다.
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F50와 F60-t를 위한 척(Chuck)
다양한 크기의 웨이퍼에 맞는 척(Chuck)이 마련되어 있습니다.
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소프트웨어 업그레이드
전문 응용분야를 위한 소프트웨어가 마련되어 있습니다.
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현미경 어댑터(adaptors)
F40 시리즈 어댑터.
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광학 필터
안정적인 스펙트럼을 얻고 측정의 정확성을 향상시키기 위해 사용 됩니다.
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광원
일반적 응용분야의 광원.