F60-c 시리즈

양산 환경을 위한 카세트 방식의 자동 박막두께 매핑 시스템

Filmetrics® F60-c 제품군은 F50 제품과 마찬가지로 필름 두께와 굴절률을 매핑하지만 양산 환경을 위해 특별히 고안된 여러 기능도 포함합니다. 여기에는 자동 노치 찾기, 자동 베이스라인, 모션 인터록이 있는 밀폐된 측정 스테이지, 소프트웨어가 사전 설치된 산업용 컴퓨터, 카세트 대 카세트 로봇의 웨이퍼 처리가 포함됩니다.

다양한 F60-c 장비는 주로 두께와 파장 범위로 구별됩니다. 일반적으로 더 얇은 필름을 측정하려면 더 짧은 파장(예: F60-c-UV)이 필요하지만 더 긴 파장을 사용하면 더 두껍고 거칠고 더 불투명한 필름을 측정할 수 있습니다.

추가된 항목:

모델사양

*필름 스텍의 의존성
모델 두께 범위* 파장영역
F60-c 20nm-70µm 380-1050nm
F60-c-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-c-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-c-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-c-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-c-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-c-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
두께 범위*

추가 항목:

  • 100s 이상으로 접근하는 모든 시스템에 포함된 130개 이상의 재료 라이브러리
  • 응용기술지원 엔지니어의 즉각적인 도움을 제공 드립니다(월요일부터 금요일까지 24 시간)
  • 온라인 "실제" 지원(인터넷 연결이 필요합니다)]
  • 하드웨어 업그레이드 프로그램

일반적인 옵션의 부품들: