F60-c 시리즈

양산 환경을 위한 카세트 방식의 자동 박막두께 매핑 시스템

Filmetrics® F60-c 제품군은 F50 제품과 마찬가지로 필름 두께와 굴절률을 매핑하지만 양산 환경을 위해 특별히 고안된 여러 기능도 포함합니다. 여기에는 자동 노치 찾기, 자동 베이스라인, 모션 인터록이 있는 밀폐된 측정 스테이지, 소프트웨어가 사전 설치된 산업용 컴퓨터, 카세트 대 카세트 로봇의 웨이퍼 처리가 포함됩니다. 재설계된 F60-c는 Filmetrics 박막 두께 매핑 기술과 KLA Instruments™ 생산 계측 시스템의 향상된 자동화를 결합한 제품입니다.

다양한 F60-c 장비는 주로 두께와 파장 범위로 구별됩니다. 일반적으로 더 얇은 필름을 측정하려면 더 짧은 파장(예: F60-c-UV)이 필요하지만 더 긴 파장을 사용하면 더 두껍고 거칠고 더 불투명한 필름을 측정할 수 있습니다.