R50 시리즈

면저항 측정

Filmetrics R-시리즈 면저항 매핑 장비는 Filmetrics 팀이 지난 20년 동안 개발한 벤치탑 기기 기술과 45년 넘게 KLA가 개발하고 완성한 기술을 결합했습니다. R50-4PP 접촉식 4포인트 프로브는 얇은 금속 및 이온 주입층에 권장되며 R50-EC 비접촉 와전류 프로브는 다음을 포함한 더 두꺼운 금속 층과 부드럽고 유연한 표면에 권장됩니다.

  • • 반도체 웨이퍼 기판
  • • 유리 기판
  • • 플라스틱(유연한)기판
  • • PCB 패턴 기능
  • • 태양 전지
  • • 평면 패널 디스플레이 층 및 패턴 구조
  • • 금속 포일

모델사양

모델 센서타입 측정범위 최대 맵 직경 XY 스테이지 영역 최대 샘플 폭 최대 샘플높이
R50-4PP 접촉식 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 100mm 100mm x 100mm 265mm 100mm
R50-EC 비접촉식 와전류 1mΩ/sq - 10Ω/sq 100mm 100mm x 100mm 265mm 100mm
R50-200-4PP 접촉식 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm 200mm x 200mm 365mm 100mm
R50-200-EC 비접촉식 와전류 1mΩ/sq - 10Ω/sq 200mm 200mm x 200mm 365mm 100mm

면저항 및 기타 측정 응용분야

R50 4포인트 프로브(4PP 또는 FPP) 및 와전류 프로브 측정 기술은 다음을 포함하지만 이에 국한되지 않는 광범위한 측정을 지원합니다.

  • 금속 필름 및 뒷면 층 두께 측정
  • 기판 비저항
  • 면저항
  • 박막 두께 또는 비저항
  • 면 및 벌크 전도도
  • 적층 필름