R50 시리즈
면저항 측정
Filmetrics R-시리즈 면저항 매핑 장비는 Filmetrics 팀이 지난 20년 동안 개발한 벤치탑 기기 기술과 45년 넘게 KLA가 개발하고 완성한 기술을 결합했습니다. R50-4PP 접촉식 4포인트 프로브는 얇은 금속 및 이온 주입층에 권장되며 R50-EC 비접촉 와전류 프로브는 다음을 포함한 더 두꺼운 금속 층과 부드럽고 유연한 표면에 권장됩니다.
- • 반도체 웨이퍼 기판
- • 유리 기판
- • 플라스틱(유연한)기판
- • PCB 패턴 기능
- • 태양 전지
- • 평면 패널 디스플레이 층 및 패턴 구조
- • 금속 포일
모델사양
| 모델 | 센서타입 | 측정범위 | 최대 맵 직경 | XY 스테이지 영역 | 최대 샘플 폭 | 최대 샘플높이 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| R50-4PP | 접촉식 4PP | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
| R50-EC | 비접촉식 와전류 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
| R50-200-4PP | 접촉식 4PP | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
| R50-200-EC | 비접촉식 와전류 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
면저항 및 기타 측정 응용분야
R50 4포인트 프로브(4PP 또는 FPP) 및 와전류 프로브 측정 기술은 다음을 포함하지만 이에 국한되지 않는 광범위한 측정을 지원합니다.
- 금속 필름 및 뒷면 층 두께 측정
- 기판 비저항
- 면저항
- 박막 두께 또는 비저항
- 면 및 벌크 전도도
- 적층 필름