모델사양
모델 | 센서타입 | 측정범위 | 최대 맵 직경 | XY 스테이지 영역 | 최대 샘플 폭 | 최대 샘플높이 |
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R50-4PP | 접촉식 4PP | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
R50-EC | 비접촉식 와전류 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
R50-200-4PP | 접촉식 4PP | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
R50-200-EC | 비접촉식 와전류 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
면저항 및 기타 측정 응용분야
R50 4포인트 프로브(4PP 또는 FPP) 및 와전류 프로브 측정 기술은 다음을 포함하지만 이에 국한되지 않는 광범위한 측정을 지원합니다.
- 금속 필름 및 뒷면 층 두께 측정
- 기판 비저항
- 면저항
- 박막 두께 또는 비저항
- 면 및 벌크 전도도
- 적층 필름