세계 최초 저가의 3D Profiler: Profilm3D
저렴한 광학 Profilometry
드디어, 표면조도 및 topography 측정은 기존 stylus profilometer보다 저렴한 장비로 제공 가능합니다.
서브-나노미터의 수직 resolution 을 갖는 Profilm3D는 3배 비용의 고가 장비들을 능가합니다.
가장 정밀한 광학 Profiler로서 동일한 최신 기술들이 적용됩니다 : white-light interferometry (WLI) 및 phase-shifting interferometry (PSI).
측정능력
Profilm3D는 표면조도, 표면형상, Step height을 측정할 수 있는 직관적인 소프트웨어를 포함하며 평편하고, 경사진 표면의 조도 패러미터들을 측정할 수 있습니다. 강력한 스티칭 (stitching)기능은 저가의 소프트웨어 업그레이드로 다중의 스캔형상을 병합합니다.
최신! 무상의 웹기반 3D 이미지 뷰어/분석기
Profilm온라인에서 대부분의 광학 profiler 또는3D Microscope로부터의 3D 이미지들을 저장, 공유, 보기, 분석이 가능합니다. 귀하의 샘플 이미지들을 desktop, tablet, smartphone상에서 다루고 볼수 있습니다. 표면 texture (조도) 및 step-height 분석을 포함하여 모든 이미지 분석 능력을 즐기십시요.
다른 옵션은 표준사양입니다
당연히 필요한 옵션에 왜 추가 비용지불을 하십니까? 자동화된 XY 스테이지는 tip/tilt 스테이지처럼 모든Profilm3D의 표준사양으로 제공됩니다.
Step-Height 표준 설정
Profilm3D는 0.5% 이하 정밀한 10-µm step-height 표준 및 100 nm, 2 µm, 4 µm단차의 multi-step 표준이 제공됩니다.
광역Field-of-View
Profilm3D의 디지털 줌 기능 (광역 field-of-view - 2 mm (10x 대물렌즈))은 여러 응용분야에 필요한 다중 대물렌즈 사용을 감소시켜주며, 전반적으로 비용절감 효과를 가져옵니다. 다중 대물렌즈의 사용이 유연하게 필요한 응용분야를 위하여, 당사의 포지션 센싱기능이 내장된 4개 포지션 수동 turret 은 우수한 표준사양입니다.
장비성능 사양
| 두께영역, WLI | 50 nm - 10 mm |
|---|---|
| 두께영역, PSI | 0 - 3 μm |
| 샘플 반사영역 | 0.05% - 100% |
장비기기 사양
| Z 영역 | 100 mm |
|---|---|
| Piezo 영역 | 500 μm |
| XY스테이지 유형 | 수동 또는 자동 |
| XY스테이지 영역 | 100 mm x 100 mm |
| 카메라 | 2592 x 1944 (5 Megapixels) |
| 장비규격, W x D x H | 300 mm x 300 mm x 550 mm |
| 장비중량 | 15 kg |
대물렌즈 1 (니콘 CF IC Epi Plan)
| 배율 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
|---|---|---|---|---|---|
| Field-of-View | 4.0 x 3.4 mm | 2.0 x 1.7 mm | 1.0 x 0.85 mm | 0.4 x 0.34 mm | 0.2 x 0.17 mm |
| Spatial Sampling2 | 1.76 μm | 0.88 μm | 0.44 μm | 0.176 μm | 0.088 μm |
일반적인 옵션의 부품들:
- Accurion Nano30 제진대
- 4µm, 2µm, and 100nm steps의 Step-height 표준. Si 1.25" 사각의 Cr 도금
- 포지션감지 수동 4-position turret
- 포지션감지 자동 4-position turret