추가된 항목:
- 통합 광원 / 제어 유닛
- 광화이버 케이블
- 4", 6"와 200mm 레퍼런스 웨이퍼
- TS-Si02-4-7200 두께 표준
- BK7 레퍼런스 재료
- 평탄화(Flattening)필터 (고-반사 기재를 위한)
- 진공 펌프
- 스페어 TH-1 램프
모델사양
모델 | 두께 범위* | 파장영역 |
---|---|---|
F50 | 20nm-70µm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
두께 범위*
추가 항목:
- 100s 이상으로 접근하는 모든 시스템에 포함된 130개 이상의 재료 라이브러리
- 응용기술지원 엔지니어의 즉각적인 도움을 제공 드립니다(월요일부터 금요일까지 24 시간)
- 온라인 "실제" 지원 (인터넷 연결이 필요합니다)
- 하드웨어 업그레이드 프로그램
일반적인 옵션의 부품들:
- NIST - 두께 인증 표준
- F50 Chuck - 100mm, 200mm, 300mm, and 450mm (450mm chuck이 있는 F50-450)
- F50 small-spot 옵션, 가시광선(VIS) 또는 자외선(UV)