F60 시리즈

양산을 위한 자동화된 두께 매핑

Filmetrics F60-t 시리즈 제품들은 F50과 같이 박막 두께 및 굴절률을 매핑 하지만 양산 환경을 고려한 특정 기능들을 여러 개 포함 하고 있습니다. 이것은 자동 노치(notch)찾기, 자동 온-보드 베이스라인, 부착된 연동 모션 측정 스테이지, 측정 소프트웨어가 설치된 산업용 컴퓨터 합니다. 전 자동 웨이퍼 핸들링으로 업그레이드 하실 수 있습니다.

차별화된 F60-t 장비는 우선적으로 두께와 파장 영역으로 분류됩니다. 일반적으로 단파장 영역이(예 F60-t-UV) 얇은 박막 측정에 필요한 반면, 장 파장 영역은 두께가 두껍고, 거칠고, 더욱 불투명한 박막들의 측정에 필요 합니다.

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추가된 항목:

모델사양

*필름 스텍의 의존성
모델 두께 범위* 파장영역
F60-t 20nm-70µm 380-1050nm
F60-t-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-t-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-t-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-t-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-t-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-t-s980 4µm-1mm 960-1000nm
F60-t-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm
두께 범위*

추가 항목:

  • 100s 이상으로 접근하는 모든 시스템에 포함된 130개 이상의 재료 라이브러리
  • 응용기술지원 엔지니어의 즉각적인 도움을 제공 드립니다(월요일부터 금요일까지 24 시간)
  • 온라인 "실제" 지원(인터넷 연결이 필요합니다)
  • 하드웨어 업그레이드 프로그램

일반적인 옵션의 부품들: