비정질 & 폴리실리콘
실리콘 원소는 결정체와 무결정체, 그리고 부분적 결정제의 형태로 존재합니다. 부분적 결정체 실리콘은 polycrystalline 이며 짧게는 polysillicon이라고 합니다.
폴리실리콘과 무결정 실리콘의 광학 상수 굴절률(n)과 흡수율(k)은 특별한 적층환경을 가지고 있기 때문에 두께를 아주 정밀하게 측정해야 합니다. 측정 시에는 두께뿐만 아니라 실리콘 필름 결정화의 입도와 표면의 거칠기도 함께 고려해야 합니다.
저희 Filmetrics의 제품은 정교한 측정루틴을 사용하여 단 한번의 클릭으로도 실리콘 필름에 대한 자세한 정보를 한번에 측정하실 수 있습니다.
귀하의 비정질 폴리실리콘 응용분야에 대해 자사의 박막 전문가에게 문의 하시길 바랍니다.
Filmetrics는 무상의 샘플측정을 제공 합니다 - 결과는 보통 1-2일 안에 가능 합니다.
측정 보기
폴리실리콘(polysilicon)은 실리콘-기반 전자 기기에 대해 널리 사용되는 재료 입니다. 이들 장치의 효율성은 필름의 광학적, 구조적인 특성에 좌우 됩니다. 이 특성들은 증착과 어닐링(Annealing) 조건의 설정에 따라 변화 되므로 이 요소들을 정확히 측정 하는 것이 중요 합니다. 모니터 웨이퍼(wafer)에서 측정된 두께와 광학적 특성은 실리콘 기재와 폴리실리콘 박막 사이에 광학적 대비를 증가 시키기 위하여 SiO2 층을 가집니다. 폴리실리콘 박막과 SiO2 층의 두께와 광학적 특성은 Filmetrics F20을 통해 쉽게 측정 할 수 있습니다. Bruggeman 광학 모델은 폴리실리콘 박막의 광학적 특성을 측정하기 위하여 사용 되었습니다.측정 셋업:
사용된 레서피:
측정결과:
