실리콘웨이퍼 & 얇은막(Membranes)
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Filmetrics는 1nm-2mm 두께 영역의 막 두께와 실리콘 웨이퍼를 측정 하는 탁상용, 매핑, 생산 시스템을 제공 합니다.
응용노트 요청귀하의 실리콘 웨이퍼와 막 응용분야에 대해 Filmetrics 전문가와상의하세요.
Filmetrics는무상의 샘플측정을 제공 합니다. 결과는 보통 1-2일내에 가능 합니다.
두께 범위* | 응용분야 | 제품라인 |
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5µm - 1mm | 단일-스팟(single-Spot) | F3-sX |
1nm - 200µm | 단일-스팟(single-Spot) | F20 |
3nm - 1mm | 두께 매핑 | F50/F60 |
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응용분야 찾기
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비정질(Amorphous) & 폴리실리콘
결정질과 비결정질 실리콘의 두께, 결정도, 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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CMP
자사의 F80 두께 이미지 제품은 oxide, STI, 그리고 금속 CMP 공정에 사용 되어 집니다.
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유전체
Filmetrics는 산업계에서 두루 사용 되는 수천개의 유전체 필름을 측정 하기 위한 장비를 보유 하고 있습니다.
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하드코팅 두께
Filmetrics 시스템은 하드코팅과 primer 두께를 검증하기 위해 자동차 산업에서 폭 넓게 사용 합니다.
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IC 실패분석
F3-sX는 실리콘 backside thinning을 측정 하기 위해 chip 업계에서 고루 사용 하고 있습니다.
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ITO & 기타 TCOs
소유의 분석 알고리즘은 TCO 두께, 굴절률, 흡수율의 한번의 클릭으로 가능 하게 합니다.
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금속 장치
Meangioplasty balloons, stent 와 implant 코팅 그리고 많은 다른 것들의 두께 측정 하기.
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금속두께 측정
50nm까지 두꺼운 금속 필름의 두께, 굴절률, 흡수율을 측정 하세요.
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NPB, AlQ3, PEDOT, P3HT, soluble Teflons 등의 굴절률을 측정 하세요
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파릴렌코팅
단순히 두께 측정을 위해서 F3-CS의 stage에 페럴린 코팅된 샘플을 올려 놓으세요!
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포토리지스트
자사는 수십여개의 다른 리지스트를 측정 해 왔으며 귀하가 사용하는 어떤 리지스트도 생성 할수 있습니다.
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다공성 실리콘(Porous Silicon)
귀하의 다공성 실리콘 필름의 두께, porosity, 굴절률과 흡수율 측정 하기.
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공정 필름
Filmetrics는 반도체 공정 필름을 측정을 위한 범용의 제품을 제공 합니다.
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굴절률 & 흡수율
190-1700nm 만큼 넓은 영역의 파장 대역에서 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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실리콘웨이퍼& 막(Membranes)
자사는 2mm까지 두꺼운 실리콘을 측정 하는 탁사용, 매핑, 양산 시스템을 제공 합니다.
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태양광 응용
CdTe, CdS, CIGS, 비정질(amorphous)-Si, TCOs, 비반사(AR)층 측정하기 , 그리고 그 이상...
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반도체 교육랩
50여개 이상의 Filmetrics의 F20 시스템이 대학교 강의 랩에서 사용 되고 있습니다.
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