포토리지스트
포토리즈시트의 성공적인 측정은 Filmetrics 측정 시스템에 의해 자동적으로 다루어왔던 몇가지의 유일한 도전들을 극복 하는 것이 필요 합니다. 이들 도전은 포토리지스트 확대 영역을 커버하는 굴절률 라이브러리 접근을 하면서 bake와 exposure 의 정도에 따라 굴절률을 변경하기 위한 포토리지스트 경향을 다루는 능력을 가지는 측정 용 빔 소스가 리지스트에 노출 되지 않는 것을 포함 합니다.
| 두께 범위* | 응용분야 | 제품라인 |
|---|---|---|
| 1nm - 450µm | 단일-스팟(single-Spot) | F20 |
| 0.4µm - 3mm | 단일-스팟(single-Spot) | F3-sX |
| 5nm - 3mm | 두께 매핑 | F50/F60 |
SU-8의 측정이 빠르고 쉬울지라도 스핀코팅은 원하는 두께를 산출하는 부정확한 방법이 될 수 있습니다. 왜냐하면 노출 시간은 리지스트 두께에 의존성이 있기 때문 이며 정확한 측정이 되야 합니다. 더욱이 포지티브와 네거티브 포토리지스트는 복잡한 다층 MEMS 구조를 형성 하기 위해 함께 사용 될 수 있습니다. 각각의 두께를 아는 것은 매우 중요 합니다.
Filmetrics는 단일층, 다층, 그리고 3nm에서 1mm까지의 두께 영역의 포토리지스트 박막 에도 측정 하는 탁상형 및 매핑 범위의 해결책을 제공 합니다. 모든 Filmetrics 모델은 분광 스펙트럼을 모델링 하여 정확하게 두께(그리고 굴절률)을 측정 합니다. 자사 소유의 알고리즘은 견고한 “한번의 클릭” 분석을 통해 보통 1초 안에 결과가 가능 합니다.
포토리지스트 측정을 위해 자사의 박막 전문가에게 문의하시길 바랍니다.
Filmetrics는 무상의 샘플 측정을 제공 합니다 - 결과는 보통 1-2일 안에 가능 합니다.
측정 보기
PR 코팅의 두께를 측정 하는 능력은 MEMS와 같은 다양한 반도체 장치들의 생산과 개발에 매우 중요합니다. Filmetrics는 SU-8과 다른 PR두께를 측정하는 솔루션의 다양한 영역을 제공 합니다. 이 샘플에서는 자사는 각각 단일 포인트 측정의 F20과 다중포인트 측정의F50장비를 이용하여 빠르고 효율적인 SU-8 코팅/Si 의 측정 하는 방법을 시연 하였습니다.측정 셋업:
RP1 광화이버(fiber) 연결 F50 웨이퍼(wafer) 매핑
사용된 레서피:
측정결과:
