ITO & 기타 TCO
액정 디스플레이, 다양한 OLED, 그리고 다른 대부분의 평면 패널 디스플레이 기술은 indium tin oxide(ITO)와 같이 전류를 이송하여 발광 요소의 양극 역할을 하는 투명 전도성 산화물 (TCOs)에 의존하고 있습니다.
다른 모든 박막(thin film)공정과 같이, 디스플레이를 형성하는 박막층의 두께를 아는 것은 중요한 장점입니다. LCD의 경우는 ITO외에 액정층과 폴리이미드도 측정하는 방법이 필요합니다. 한편 OLED는 발광, 주사 및 캡슐화 박막층을 측정하는 방법이 필요합니다.
응용노트 요청다층박막을 측정하는 경우, 분광반사율과 타원편광분석법과 같은 광학 기술은 측정하거나 정확한 모델을 위해 각층의 두께와 광학상수(n과k)가 필요합니다.
ITO가 포함되어 있는 다층박막의 측정은 그외의 박막두께를 측정하는것보다 더 어렵습니다. 그 이유는 ITO가 다른 박막층 보다 더 강력히 빛에 반응하기 때문입니다. 이런 경우에는 해당 ITO의 굴절 인덱스를 정확하게 측정해야 ITO외의 다른 층도 정확하게 측정하실수 있습니다.
ITO의 굴절 인덱스를 정확이 측정하시면 그 결과를 통해 박막층을 이루고 있는 화합물의 전류이송 상태와 디스플레이에 사용된 ITO필름의 두께를 확인 하실수있습니다.
ITO 두께 측정을 위한 Filmetrics 솔루션
Filmetrics는 F20-EXR를 통해 분광반사율을 사용하여 간단하고 저렴하게 ITO를 측정할수있는 해결책을 개발했습니다. 그 해결책은 새로운 ITO 모델과 넓은 400-1700nm 파장 범위의 결합된 결과입니다 "한 번의 클릭으로" 강력한 ITO 분석을 제공합니다. 일단 ITO층이 분석된 이후 나머지 디스플레이 층의 분석의 길이 열리게 됩니다.
여러분이 일반적인 연구에 참여하든 디스플레이의 제조를 하든 Filmetrics는 여러분의 필요한 기능을 제공할 수 있습니다.…
액정 층- Polyimide, 하드코팅과 액정 두께
- Emission, injection, 버퍼, 그리고 encapsulation
non-patterned 샘플에 대해서 박막 측정 설비의 Filmetrics F20 시리즈를 패턴드 필름에 대해서는 디스플레이 응용에서 널리 사용 되고 있는 필름 두께를 측정 하기 위한 Filmetrics F40과 F42제품을 검토해 보세요.
Filmetrics는ITO와 다른 TCO박막 샘플의 무상 측정을 제공 드리며 결과는 보통 1-2일 안에 가능 합니다. 귀하의 디플레이 재료 및 TCO 측정에 관해 상의를 위해서 자사의 박막 전문가에게 문의하시길 바랍니다.
측정 보기
이 샘플에서, 자사는 성공적으로 두개의 기재위에 ITO 필름을 측정 합니다: 사파이어, BSG. Filmetrics의 특허 ITO 분산 모델과 연계된 F10-RT-EXR를 이용하여 380-1700nm 사이의 반사, 투과율을 동시 측정 하여 쉽게 두께, 굴절률, 그리고 흡수율을 결정 할 수 있습니다. 이 확장된 파장 영역은 다양한 기재 위의 ITO 박막 코팅이 생소한 분산을 보여 주기 때문에 필요합니다.측정 셋업:
사용된 레서피:
측정결과:
