파릴렌코팅
우수한 코팅 속성으로 인해 파릴렌 응용 범위가 열악한 환경을 견디어 내는 인쇄 회로 기판에서 부터 어레이 산업 및 의료 및 전자 분야까지 확장되어 사용하고 있습니다. 파릴렌 코팅 공정의 장점은 코팅이 기상부터 액상의 중간 단계까지 형성됨을 추적할 수 있게 하는 것입니다. 이러한 고유의 코팅 과정은 노출된 내부 표면에서 핀홀이 없는 선명한 모서리, 포인트, 틈새와 균일한 코팅 결과를 얻게 합니다.
응용노트 요청파릴렌 코팅이 점점 자주 사용될수록 더 정확한 파릴렌 두께를 얻는 방법이 필요하게 되었습니다. 너무 적은 파릴렌이 사용되었을땐 불완전한 덮힘율, 핀홀, 및 마모율 감소가 발생할 수 있고 너무 많은 파릴렌은 기기의 성능을 저하시키며 전구체의 낭비를 초래합니다.
그러므로 정밀한 두께측정은 파릴렌 코팅의 안정적이고, 가볍고, 스트레스가 없고, 투명하고, 그리고 신체 적합성이 있는 장점을 최대한 적용하실수 있습니다.
Filmetrics의 파릴렌 측정 시스템
Filmetrics는 10년 이상의 파릴렌 두께 측정 경험이 있습니다. 자사의 가장 유명한 해결책은 F3-CS로, 평면 위의 파릴렌에 특별히 설계되었습니다. 굴곡이 있는 표면을 측정하게 하고 두께 범위를 표준두께인 0.25-75um 이상으로 확장할 수 있습니다.
Filmetrics는 파릴렌 코팅 샘플에 대해 무상의 측정을 제공 합니다. 결과는 보통 1-2일 안에 가능 합니다. 귀하의 파릴렌 요청 사항을 상의 하기 위해 자사의 박막 전문가에게문의하시길 바랍니다.
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비정질(Amorphous) & 폴리실리콘
결정질과 비결정질 실리콘의 두께, 결정도, 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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CMP
자사의 F80 두께 이미지 제품은 oxide, STI, 그리고 금속 CMP 공정에 사용 되어 집니다.
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유전체
Filmetrics는 산업계에서 두루 사용 되는 수천개의 유전체 필름을 측정 하기 위한 장비를 보유 하고 있습니다.
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하드코팅 두께
Filmetrics 시스템은 하드코팅과 primer 두께를 검증하기 위해 자동차 산업에서 폭 넓게 사용 합니다.
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50nm까지 두꺼운 금속 필름의 두께, 굴절률, 흡수율을 측정 하세요.
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자사는 수십여개의 다른 리지스트를 측정 해 왔으며 귀하가 사용하는 어떤 리지스트도 생성 할수 있습니다.
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