다공성 실리콘
최근 수년 동안 다공성 실리콘에 관한 많은 연구를 진행하여 왔습니다, 광학기기, 가스센서, 생의학 기기를 포함한 다양한 응용분야 대한 다공성 실리콘의 확실한 전망 때문에 관심을 가져오게 되었습니다.
대부분의 신소재 기술과 같이 다공성 실리콘 개발의 일부는 다양한 재료의 특성변수를 어떻게 분석할 수 있는 장비를 찾는데 있어 왔습니다. 다공성 실리콘에 있어서 가장 관심 있는 특성변수는 박막층의 두께 및 다공성입니다.
응용노트 요청중요한 매개 변수는 센서에서 함침된 재료의 양 또는 흡수된 분자량과 같은 공정된 박막층과 관련이 있습니다. Filmetrics에서는 단 한번의 클릭으로 다공성 실리콘의 두께, 광학상수, 다공성을 보여주는 독특한 분석 알고리즘을 개발하여 왔습니다. 이 알고리즘은 다양한 F20과 F40 그리고 F50 장비에서 무상으로 사용 할 수 있습니다.
귀하의 다공성 실리콘 응용분야 관하여 자사의 박막 전문가에게 문의 하시길 바랍니다.
Filmetrics 무상의 샘플측정을 제공 합니다 - 결과는 보통 1-2일 안에 가능 합니다
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다공성 실리콘(Porous Silicon) 층은 많은 요소들에 의해 특성화 될 수 있습니다 ,그러나 두께 및 porosity는 중요한 요소들 입니다. 일반적으로, 중량에 의한 측정과 같은 비-파괴 방식은 공극율(porosity) 측정에 사용 되나 이 방식의 정확도는 매우 낮습니다. 비-파괴 기술을 이용하는 Filmetrics F20은 다공성 실리콘(Porous Silicon) 박막의 두께 및 광학적 특성을 측정 할 수 있습니다. Filmetrics의 특허 알고리즘은 또한 박막의 공극율(porosity)를 단 한번의 마우스 클릭으로 정확하게 계산 합니다측정 셋업:
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응용분야 찾기
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비정질(Amorphous) & 폴리실리콘
결정질과 비결정질 실리콘의 두께, 결정도, 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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CMP
자사의 F80 두께 이미지 제품은 oxide, STI, 그리고 금속 CMP 공정에 사용 되어 집니다.
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유전체
Filmetrics는 산업계에서 두루 사용 되는 수천개의 유전체 필름을 측정 하기 위한 장비를 보유 하고 있습니다.
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하드코팅 두께
Filmetrics 시스템은 하드코팅과 primer 두께를 검증하기 위해 자동차 산업에서 폭 넓게 사용 합니다.
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IC 실패분석
F3-sX는 실리콘 backside thinning을 측정 하기 위해 chip 업계에서 고루 사용 하고 있습니다.
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ITO & 기타 TCOs
소유의 분석 알고리즘은 TCO 두께, 굴절률, 흡수율의 한번의 클릭으로 가능 하게 합니다.
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금속 장치
Meangioplasty balloons, stent 와 implant 코팅 그리고 많은 다른 것들의 두께 측정 하기.
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금속두께 측정
50nm까지 두꺼운 금속 필름의 두께, 굴절률, 흡수율을 측정 하세요.
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OLEDs
NPB, AlQ3, PEDOT, P3HT, soluble Teflons 등의 굴절률을 측정 하세요
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안과코팅
반사율과 컬러 측정 및 AR과 하드코팅 층 두께 측정을 위해 F10-AR을 사용 하세요.
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파릴렌코팅
단순히 두께 측정을 위해서 F3-CS의 stage에 페럴린 코팅된 샘플을 올려 놓으세요!
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포토리지스트
자사는 수십여개의 다른 리지스트를 측정 해 왔으며 귀하가 사용하는 어떤 리지스트도 생성 할수 있습니다.
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다공성 실리콘(Porous Silicon)
귀하의 다공성 실리콘 필름의 두께, porosity, 굴절률과 흡수율 측정 하기.
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공정 필름
Filmetrics는 반도체 공정 필름을 측정을 위한 범용의 제품을 제공 합니다.
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굴절률 & 흡수율
190-1700nm 만큼 넓은 영역의 파장 대역에서 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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실리콘웨이퍼& 막(Membranes)
자사는 2mm까지 두꺼운 실리콘을 측정 하는 탁사용, 매핑, 양산 시스템을 제공 합니다.
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태양광 응용
CdTe, CdS, CIGS, 비정질(amorphous)-Si, TCOs, 비반사(AR)층 측정하기 , 그리고 그 이상...
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50여개 이상의 Filmetrics의 F20 시스템이 대학교 강의 랩에서 사용 되고 있습니다.
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웹코팅
Filmetrics 시스템은 in-line 두께를 측정 하기 위해서 고분자 필름 계열에 널리 사용 되어 집니다.
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