굴절률 & 흡수율
Filmetrics 시스템은 굴절률과 흡수율을 190-1700 nm 파장 대역에서 측정 합니다 - 단 한번의 마우스 클릭으로 수초안에. 많은 경우에 있어 자사의 정확성은 복잡하고 값비싼 엘립소메트리 방식 보다 더욱 우수 하기도 합니다. 특히 박막이 흡수성이 있거나 투명한 기재위 등, 종종 Si3N4, ITO 그리고 많은 다른 공통 재료들의 경우에 해당 합니다.
Filmetrics는 굴절률 측정 서비스를 제공 합니다, 또한 필요한 정보에 대해서는 굴절률 데이터베이스에서 찾아 보시길 바랍니다.
측정 보기
Filmetrics 설비들(특별히 자사의 F10-RT와 F10-RTA 시스템)은 난해한 박막을 빠르게 측정하는데 이상적으로 적절 합니다. 광대한 지식에 대한 요구 없이 FILMesure 자사의 소프트웨어는 복잡한 광학적 상수들을 얻을 수 있습니다. 이 경우 fused 실리카 위에 MEH-PPV의 단일 박막의 반사와 투과 스펙트럼은 양품의 두께, 굴절률, 흡수율로 훌륭하게 (그리고 동시에) 모델링 되었습니다. Bridge Lorentzian-3 Term 모델은 성공적으로 이런 예제에 사용 되었습니다. 추가로 FILMesure는 다른 광학적 모델들의 광대한 라이브러리를 제공 합니다. 자사의 user-controlled solver는 정확한 결과를 신속하게 얻습니다.측정 셋업:
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응용분야 찾기
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결정질과 비결정질 실리콘의 두께, 결정도, 굴절률, 흡수율 측정 하기.
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CMP
자사의 F80 두께 이미지 제품은 oxide, STI, 그리고 금속 CMP 공정에 사용 되어 집니다.
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Filmetrics 시스템은 하드코팅과 primer 두께를 검증하기 위해 자동차 산업에서 폭 넓게 사용 합니다.
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굴절률 & 흡수율
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